特殊ガス配管・金属板金加工・特殊製缶・ガス供給排気設備製作:茨城県つくば市:扶桑株式会社

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真空配管


真空配管に求められる技術

真空プロセスによる半導体などの製造工程では、高度な真空環境を作りだす真空排気配管が必要です。
真空配管の多くはステンレス配管ですが、工場レイアウトや製造装置のコンパクト化の要望から最適なガスフローラインを実現する配管技術が求められています。
扶桑株式会社では真空配管の製作・真空部品の加工や現地配管工事・現地取付工事を承っております。


真空配管工事内容

  • 材質: SUS304, SUS316, SUS316L,アルミニウム,ニッケル他
  • 表面処理: 酸洗浄, EP(電解研磨),GBB処理,アルマイト処理
  • 自動溶接対応サイズ :1/8”,1/4”, 3/8”, 1/2”,3/4”,1”,10A〜100A
  • Heリーク試験(真空法・スニッファー法)